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XYC EG（電子級）潤滑脂
- 所屬分類：XYC 代替 KRYTOX
- 二維碼：
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全氟聚醚（PFPE）基礎油 + 聚四氟乙烯（PTFE）稠化劑，化學惰性極強，無矽配方，通過 ISO 14644-1 Class 1 潔淨室認證，適配半導體晶圓廠與真空環境。
- 產品描述
一、基礎參數與化學特性
- 基礎油與稠化劑：
- 全氟聚醚（PFPE）基礎油 + 聚四氟乙烯（PTFE）稠化劑，化學惰性極強，無矽配方，通過 ISO 14644-1 Class 1 潔淨室認證，適配半導體晶圓廠與真空環境。
- 關鍵性能指標：
- 稠度等級：NLGI 2級（25°C錐入度 265-295），低溫泵送性（-50°C扭矩<0.5N·m）；
- 滴點：>320°C（ASTM D2265），蒸發損失 <0.3% @200°C/24h（ASTM D972），離子含量 <10ppb（Na⁺、K⁺、Cl⁻等）。
- 添加劑技術：
- 電子級納米添加劑（含氟抗磨劑+石墨烯分散劑），四球測試磨斑直徑 ≤0.3mm（載荷392N），摩擦係數 0.03-0.05，兼容銅、鋁等敏感金屬。
二、核心性能優勢
- 電子工業適配性：
- 通過 SEMI S22 潔淨度測試（顆粒尺寸>0.1μm的汙染物<100個/cm³），滿足EUV光刻機、真空機械手等高精度設備潤滑需求；
- 抗化學腐蝕性覆蓋 顯影液（TMAH）、蝕刻氣體（Cl₂、CF₄）及光刻膠溶劑（PGMEA），耐受等離子體清洗（O₂/N₂等離子體）。
- 長效潤滑與穩定性：
- 抗氧化壽命 >10,000小時（120°C烘烤測試），高溫下無碳化殘留，避免設備因油泥堆積宕機；
- 寬溫域導電率穩定（<1×10⁻¹⁴ S/cm），消除靜電積累風險，保護微電子元件。
- 安全合規性：
- 通過 UL 94 V-0 阻燃認證、RoHS 3.0 及 REACH SVHC 無豁免合規，符合 NASA低釋氣標準（TML<0.1%，CVCM<0.01%）。
三、典型應用場景
- 半導體製造：
- EUV光刻機：真空機械臂導軌潤滑，兼容13.5nm極紫外光環境；
- 化學機械拋光（CMP）設備：主軸軸承潤滑，耐受拋光液（SiO₂/Al₂O₃漿料）滲透。
- 精密電子與新能源：
- 鋰電塗布機：輥壓軸承潤滑，防止NMP溶劑溶解與金屬鋰析出；
- 量子計算設備：稀釋製冷機軸承（-269°C），維持超低摩擦與熱穩定性。
- 醫療與特殊工業：
- 內窺鏡機器人：微型齒輪潤滑，通過 ISO 10993-5 細胞毒性測試；
- 衛星星敏傳感器：精密轉台潤滑，耐受原子氧與宇宙射線輻照。
