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XYC 105 真空半導體全氟聚醚潤滑脂
所屬分類:
全氟聚醚潤滑脂
二維碼:
XYC 105高真空絕熱低溫液體管道密封脂,是一款專為嚴苛超低溫環境設計的高性能密封潤滑產品。它以蒸汽壓極低的全氟聚醚(PFPE)為基礎油,采用聚三氟氯乙烯(PCTFE)稠化,並添加多種精心挑選的添加劑精製而成。
谘詢熱線:0769-8535 8431
產品描述
XYC105 真空半導體全氟聚醚潤滑脂(小亦蟲・高潔淨真空級)
品牌
:小亦蟲(XYC)
型號
:XYC105(真空半導體 / 高潔淨 / 低發塵,PFPE/PTFE)
外觀
:白色超細膩膏狀、無味、無顆粒、
潔淨室零發塵、真空不遷移
一、基礎構成
基礎油
:半導體級高純度全氟聚醚(PFPE,分子蒸餾提純,
超低揮發
)
稠化劑
:納米級高純 PTFE 微粉(
低發塵、高純淨
)
添加劑
:真空穩定劑、抗氧劑、潔淨分散劑(
無矽 / 無硫 / 無氯 / 無金屬雜質
)
二、關鍵性能參數(典型值・半導體標杆)
工作溫度
:
-50℃ ~ +300℃
(長期 250℃穩定,短期峰值 300℃)
NLGI 稠度
:2 級(錐入度 260–290,0.1mm)
滴點
:>280℃(不燃、無閃點)
密度(20℃)
:約 1.9 g/cm³
摩擦係數
:0.05–0.10(
超低摩擦
,精密運動順暢)
蒸發損失(200℃/24h)
:≤
0.3%
(半導體級低蒸發)
蒸氣壓(150℃)
:<
10⁻⁶ Pa
(超高真空兼容,ASTM E595 認證)
潔淨度
:ISO 14698-1 Class 100 級(每立方英尺≤100 顆 0.5μm 顆粒)
TML/CVCM
:TML<1%,CVCM<0.1%(真空腔體零汙染)
四球燒結負荷
:>950N(重載抗磨)
分油率(250℃)
:<4%(高溫不流失)
三、核心特性(半導體 = 高潔淨 + 低揮發 + 寬溫 + 長壽命)
高潔淨零發塵(核心優勢)
嚴格 Class 100 級潔淨室標準,
無顆粒、無粉塵、無析出
;杜絕晶圓 / 光學元件汙染,
芯片良率提升、設備故障率降低
。
超低揮發 + 真空穩定
蒸氣壓趨近於零,
真空不遷移、不結霧、不汙染腔室
;適配 EUV / 光刻機 / 刻蝕機等高真空設備,
終身潤滑免維護
。
-50℃~300℃超寬溫穩定
低溫不脆化、高溫不碳化 / 不結焦;覆蓋半導體
低溫製程→高溫工藝→冷鏈運輸
全場景。
化學惰性 + 強耐腐蝕
耐強酸、強堿、鹵素、刻蝕氣體、強氧化劑;
不與半導體工藝介質反應
,降解率<0.2%。
材料兼容 + 長壽命
金屬、氟橡膠 / EPDM、PEEK/POM
零腐蝕、零溶脹
;使用壽命
5 年 +
,補脂周期為普通潤滑脂的 30–50 倍。
四、典型應用(聚焦半導體高真空 / 潔淨室)
半導體設備
:光刻機、刻蝕機、離子注入機、晶圓機械手、真空鍍膜機(高真空、低發塵)。
真空腔體
:半導體腔室、真空爐、擴散泵、精密真空軸承(零汙染、長效)。
精密電子
:硬盤軸承、微型齒輪、精密開關、光學儀器(低噪音、潔淨)。
SMT / 電子
:氮氣回流焊、真空爐部件、精密導軌(高溫潔淨、長壽命)。
醫療 / 製藥
:凍幹機、無菌包裝設備、醫療儀器軸承(無毒、潔淨)。
五、包裝與注意
包裝
:1kg / 罐、20kg / 桶(可定製 50g/100g 潔淨室專用小支)。
禁忌
:不可與礦物油、鋰基脂、矽脂混用;
潔淨室需專用工具塗抹
,避免二次汙染。
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XYC 106 聚三氟氯乙烯潤滑脂
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