小亦蟲 XYC105 真空半導體全氟聚醚潤滑脂：國產高潔淨真空潤滑新標杆
2026-05-26
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在半導體先進製程迭代中，高真空、高潔淨、強腐蝕環境對潤滑材料提出極致要求。小亦蟲 XYC105 作為國產真空半導體專用全氟聚醚（PFPE）潤滑脂，以超高純度、超低揮發與化學惰性，打破進口品牌壟斷，為半導體設備提供高性價比潤滑解決方案。
XYC105 采用高純度 PFPE 基礎油 + PTFE 稠化劑配方，無金屬皂與易氧化添加劑，潔淨度達ISO 14698-1 Class 100 級，金屬離子含量＜10ppb，滿足半導體嚴苛潔淨標準。其蒸氣壓低至10⁻⁸mbar，200℃/24h 揮發率≤0.4%，高真空環境下幾乎無揮發汙染，杜絕晶圓缺陷風險。同時具備 **-60℃～+220℃寬溫穩定性，低溫不硬化、高溫不結焦，適配半導體設備冷熱循環工況。產品化學惰性極強，耐受酸、堿、強氧化劑及 CF₄、O₂等離子體腐蝕，與氟橡膠、PTFE 密封件兼容性優異，長期運行不失效。適配半導體真空輔助設備、刻蝕機、晶圓傳輸機械臂、真空閥門及封裝設備等關鍵部件，可延長維護周期，降低停機成本。
依托千級無塵車間與全流程品控，XYC105 通過 ROHS 認證，批次穩定性強。相較進口品牌，其價格優勢顯著，交付周期短，兼顧性能與成本，助力半導體企業實現國產替代降本增效 **。
小亦蟲 XYC105 以硬核性能與高性價比，成為半導體真空潤滑優選，推動國產特種潤滑材料在高端製造領域的突破與應用。
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XYC105 采用高純度 PFPE 基礎油 + PTFE 稠化劑配方，無金屬皂與易氧化添加劑，潔淨度達ISO 14698-1 Class 100 級，金屬離子含量＜10ppb，滿足半導體嚴苛潔淨標準。其蒸氣壓低至10⁻⁸mbar，200℃/24h 揮發率≤0.4%，高真空環境下幾乎無揮發汙染，杜絕晶圓缺陷風險。同時具備 **-60℃～+220℃寬溫穩定性，低溫不硬化、高溫不結焦，適配半導體設備冷熱循環工況。產品化學惰性極強，耐受酸、堿、強氧化劑及 CF₄、O₂等離子體腐蝕，與氟橡膠、PTFE 密封件兼容性優異，長期運行不失效。適配半導體真空輔助設備、刻蝕機、晶圓傳輸機械臂、真空閥門及封裝設備等關鍵部件，可延長維護周期，降低停機成本。
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